氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统

       四氟化碳分析氦离子色谱仪配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，保证不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市高新技术成果转化A级项目。

 

项目	指     标
四氟化碳（CF4）纯度（体积分数）/10-2    ≥	99.999	99.995	99.99
氮（N2）含量（体积分数）/10-6           ＜	4	20	40
氧+氩（O2+Ar）含量（体积分数）/10-6      ＜	1	5	10
二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6    ＜	1	5	10
一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6     ＜	0.1	0.5	1
六氟化硫（SF6）含量（体积分数）/10-6    ＜	1	1	5
水分（H2O）含量（体积分数）/含量，10-6  ＜	3	5	10
酸度（以HF计）含量含量（体积分数）/10-6  ＜	0.1	0.3	0.3
其它卤碳化合物a含量（体积分数）/10-6    ＜	1	10	30
总杂质含量(体积分数)/l0-6                       ≤	10	50	10
颗粒	供需双方商定	供需双方商定	供需双方商定
其它卤碳化合物包括：六氟乙烷、八氟丙烷等。