氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，保证不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市高新技术成果转化A级项目、上海市重点新产品、上海市火炬计划和2009科学仪器产品等称号。

氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，保证不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市高新技术成果转化A级项目。

 

氟的技术指标：

项目		指标
氟（F2）（体积分数）/10-2	≥	99
氧（O2）+氮（N2）（体积分数）（N2）/10-2	≤	0.45
四氟化碳（CF4）（体积分数）/10-2	≤	0.05
氟化氢（HF）（体积分数）/10-2	≤	0.5

 

氟氮混合气的技术指标：

项目		指标
氟（F2）（体积分数）/10-2		20
氮（N2）（体积分数）（N2）/10-2		80
氧（O2）（体积分数）（N2）/10-2	≤	0.08
四氟化碳（CF4）（体积分数）/10-2	≤	0.03